Сканувальний електронний мікроскоп із польовою емісією (FE) JSM-IT810, JEOL, Японія
Сканувальний електронний мікроскоп із польовою емісією JSM-IT810 від японського виробника JEOL — це флагманська модель серії InTouchScope™, призначена для наномасштабних досліджень. Завдяки системі інтелектуального керування NEOENGINE прилад гарантує виняткову стабільність електронного променя й автоматичне корегування зображення при зміні напруги чи струму. Інтерфейс SEM Center та функція Zeromag забезпечують швидкий і плавний перехід від оптичного до електронного знімка, роблячи мікроскоп ефективним рішенням для матеріалознавства, нанотехнологій та контролю якості.
Головною перевагою моделі є функція Neo Action, яка повністю автоматизує серійну зйомку та елементний аналіз (Live EDS) без програмування. Режим низького вакууму дозволяє досліджувати непровідні та вологі зразки без нанесення струмопровідного покриття, а функція Live 3D будує тривимірну топографію поверхні в реальному часі.
Технічні характеристики
Тип мікроскопа: сканувальний електронний з польовою емісією (FE-SEM)
Електронна гармата: високоефективне катодне джерело (Schottky FEG) зі струмом зонда до 500 нА
Роздільна здатність: до 0,5 нм (при 15 кВ) або 0,7 нм (при 1 кВ) у версії SHL
Діапазон збільшення: від x10 до x2 000 000
Напруга прискорення: від 0,01 кВ до 30 кВ
Режими вакууму: високий вакуум, режим низького вакууму
Елементний аналіз: інтегрований Live EDS-аналізатор
Автоматизація: система Neo Action (безкодовий автоматичний аналіз та зйомка)
Тривимірна візуалізація: функція Live 3D для оцінювання топографії в реальному часі
Система керування: інтелектуальна платформа NEOENGINE з інтерфейсом SEM Center