Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FE) JSM-IT810, JEOL, Япония
Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией JSM-IT810 от японского производителя JEOL – это флагманская модель серии InTouchScope™, предназначенная для наномасштабных исследований. Благодаря системе интеллектуального управления NEOENGINE прибор гарантирует исключительную стабильность электронного луча и автоматическую корректировку изображения при изменении напряжения или тока. Интерфейс SEM Center и функция Zeromag обеспечивают быстрый и плавный переход от оптического к электронному снимку, делая микроскоп эффективным решением для материаловедения, нанотехнологий и контроля качества.
Главным преимуществом модели является функция Neo Action, полностью автоматизирующая серийную съемку и элементный анализ (Live EDS) без программирования. Режим низкого вакуума позволяет исследовать непроводящие и влажные образцы без нанесения токопроводящего покрытия, а функция Live 3D строит трехмерную топографию поверхности в реальном времени.
Технические характеристики
Тип микроскопа: электронный сканирующий с полевой эмиссией (FE-SEM)
Электронная пушка: высокоэффективный катодный источник (Schottky FEG) с током зонда до 500 нА
Разрешение: до 0,5 нм (при 15 кВ) или 0,7 нм (при 1 кВ) в версии SHL
Диапазон увеличения: от x10 до x2 000 000
Напряжение ускорения: от 0,01 кВ до 30 кВ
Режимы вакуума: высокий вакуум, режим низкого вакуума
Элементный анализ: интегрированный Live EDS-анализатор
Автоматизация: система Neo Action (бескодовый автоматический анализ и съемка)
Трехмерная визуализация: функция Live 3D для оценки топографии в реальном времени
Система управления: интеллектуальная платформа NEOENGINE с интерфейсом SEM Center